A tisztatéri laboratóriumhoz szükséges eszközök beépítésre kerültek. A tisztatéri falak és födémelemek elzárják a laboratórium légterét a külvilágtól. A beltérbe csak szűrt levegő jut be és néhány Pa túlnyomás uralkodik, hogy megfelelően tiszta környezetet biztosíthassunk a félvezetőtechnológiai lépéseknek.